安捷伦高频阻抗测试仪表E4982A测控技术应用

作者：邓长开; 唐明津; 胡义平

来源：电子与封装, 2018, 18(06): 8-11.

DOI：10.16257/j.cnki.1681-1070.2018.0061

• E4982A
• 吉时利2410
• 阻抗测试

当前半导体车间高频阻抗测试平台大多是多年前由国外设计开发,平台系统老旧落后,测试仪表已停产多年,亟需升级换代。简单介绍了安捷伦最新型的阻抗仪表E4982A与吉时利2410数字电源表以及高频阻抗原理。在Windows 7系统下通过VB编程成功搭建了新的国产化高频阻抗测试平台,并分享了系统关键技术与核心指令代码。经过大量的测试,新的高频阻抗测试平台不仅覆盖原有的功能,同时掌握了相关核心技术,更加适应未来的生产信息化与升级需求。