厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究

作者：陈建群; 马以武; 唐力强; 王正宏

来源：传感器与微系统, 2006, (01): 33-35+38.

DOI：10.13873/j.1000-97872006.01.012

• 厚膜压阻式传感器
• 导电性能
• 掺杂改性
• 灵敏系数 thick-film piezoresistive sensors
• conductive characteristics
• charactertistics with addition
• gauge factor

探讨了厚膜压阻式传感器用钌系电阻器的灵敏特性和提高钌酸盐厚膜力敏电阻器灵敏系数S的方法。实验证明:钌酸盐厚膜电阻器的灵敏系数与电阻材料的物化特性、工艺条件密切相关。通过对RuO2脱水温度、合成B i2Ru2O7固相反应温度和时间控制,并进行导电相与玻璃相粒径大小的有效搭配以及纳米掺杂改性,提高厚膜力敏电阻器的灵敏系数,其值可以达到17左右,达到国际先进水平。