高灵敏度SCR微悬臂梁设计仿真

作者：李其昌; 王广龙; 高凤岐; 卢江雷; 张姗姗; 王磊

来源：传感器与微系统, 2013, (01): 95-98+101.

DOI：10.13873/j.1000-97872013.01.034

• 微悬臂梁
• 高灵敏度
• 应力集中区域
• 有限元仿真 micro-cantilever
• high sensitivity
• stress concentration region(SCR)
• finite element simulation

利用有限元仿真分析方法,模拟不同特征应力集中区域(SCR)对微悬臂梁测量性能的影响,得出微悬臂梁结构引入不同形式特征SCR后所产生的测量性能的变化规律,分析灵敏度与测量带宽及测量范围的取舍原则。对基于微悬臂梁的高灵敏度微传感器、制动器的设计与优化具有一定指导意义。

• 单位
  中国科学院微电子研究所; 上海市计量测试技术研究院; 中国人民解放军陆军工程大学