气溶胶辅助化学气相沉积制备Al掺杂ZnO透明导电薄膜

作者：秦秀娟; 韩司慧智; 赵琳; 左华通; 宋士涛

来源：无机材料学报, 2011, (06): 607-612.

• 气溶胶
• 化学气相沉积法
• Al:ZnO
• 透明导电薄膜 aerosol
• chemical vapour deposition
• Al-doped ZnO
• transparent conductive thin films

采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)法在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜.研究了Al掺杂(2at%～8at%)对ZnO薄膜结构及光电性能的影响.利用XRD、SEM、EDAX、紫外可见分光光度计等手段对样品进行测试.结果表明,制备的所有AZO薄膜均具有纤锌矿结构,不具有沿c轴方向的择优取向,XRD图谱中未观察出Al的相关分相.在可见光范围内,AZO薄膜的平均透过率大于72%,光学禁带宽度随Al掺杂量的增加而变窄.同时根据四探针技术所得的数据得知:Al的掺杂导致薄膜方块电阻的变化,随着Al掺杂量的增加,方块电阻有明显变小的现象,掺杂6at%Al的AZO薄膜具有最低方块电阻(18Ω/...

• 单位
  亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室; 环境与化学工程学院; 河北科技师范学院; 燕山大学