摘要

<正>VCSEL(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,垂直腔表面发射激光器)是一种垂直于衬底面射出激光的半导体激光器。基本结构是一个"三明治"结构,由上下两个DBR反射镜和有源区这三部分组成。该项技术自1977年日本东京工业大学的伊贺健一提出VCSEL的概念开始,1996年被商业化,至今已获得了长足的发展。而且随着新应用的兴起,VCSEL技术得到了显著重视和改善,并终于克服了相关技术难题,实现大规