根据超声波时差法原理,研究气体组分和温度对测量结果的影响。采用一组收发一体式超声波换能器进行气体流量测量,设计了接收信号放大、滤波、比较电路,主控电路和对应控制程序,开发了气体组分和温度补偿程序,制作出高精度的超声波气体流量测量仪。空气流量测试结果表明:当空气流量为5.00 L/min时,该测量仪的测量精度可达±0.03 L/min。该测量仪还适用于不同气体类型的精确测量。