激光干涉仪测量直线度时斜率误差的分析

作者：白鑫; 张建国; 潘宇; 马朋昆; 何敏

来源：中国测试, 2023, S1: 37-40.

• 激光干涉仪
• 直线度
• 斜率误差

在利用激光干涉系统测量各类数控设备的直线度时，影响测量精度最主要的因素是斜率误差，通常也是测量过程中的难点。文章通过对所现有的激光干涉仪设备功能探索、延展，以及实际现场操作的经验，总结出一些思路与方法。

• 单位
  内蒙古北方重工业集团有限公司; 中国测试技术研究院