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摘要
针对高温高旋环境下部件健康监测的需求，设计了一种背部带有凹槽的基于硅酸镓镧(LGS)的声表面波应变传感器。通过COMSOL软件建立应变传感器模型，对应变传感器表面应变分布情况及传感器灵敏度进行仿真，确定了制备传感器的最佳模型参数，同时通过对传感器施加不同的温度场，得到了传感器的应变灵敏度随温度的变化规律。仿真结果表明，随着温度的升高，传感器的应变灵敏度成非线性减小，温度对应变灵敏度的影响从0.002 8 Hz/(ppm·℃)增大到0.020 3 Hz/(ppm·℃)。上述结果为声表面波应变传感器的制备与测试提供了参考。
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