基于LabVIEW的迈克尔逊干涉微位移测量方法研究

作者：李晓飞; 张周强^*; 张守京; 周玲

来源：机械与电子, 2021, 39(01): 8-16.

• 迈克尔逊干涉
• 干涉条纹
• LabVIEW
• 图像处理

针对传统干涉条纹人工计数测量方法稳定性差、人为误差大的缺点,提出了一种迈克尔逊干涉条纹图像处理的方法。该方法以CCD相机采集干涉图像,基于LabVIEW平台进行图像处理。根据干涉条纹中心区域暗斑区域面积呈周期性变化的规律,通过对干涉条纹进行图像增强、中值滤波、区域选择、灰度均值计算等分析步骤,对干涉条纹计数,进而测得物体的微小位移量。实验结果表明,该方法实现了迈克尔逊干涉0.02 mm微小位移量的精确测量,测量误差最小为0.3%。与传统方法相比,其稳定性、误差、精确度都有较大提升。

• 单位
  西安工程大学; 机电工程学院