溶胶-凝胶法制备钛酸铝薄膜及其抗熔盐腐蚀性能

作者:江伟辉; 冯果; 刘健敏; 谭训彦; 于云
来源:人工晶体学报, 2010, 39(04): 917-921.
DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2010.04.041

摘要

以钛酸四丁酯和硝酸铝为原料,乙醇为溶剂,通过溶胶-凝胶法在碳化硅基片上制备钛酸铝薄膜。借助DSC-TG、XRD、FE-SEM和SEM研究了钛酸铝干凝胶在热处理过程中的热重效应与相变化、薄膜的晶相组成、显微结构及其抗硝酸钠熔体腐蚀性能。结果表明:制备的钛酸铝薄膜表面均匀、致密,晶粒尺寸在100nm左右,具有良好的抗硝酸钠熔体腐蚀性能。

全文