像元级倍增CCD结构的设计与验证

作者：王小东^*; 刘昌举; 涂戈; 李佳

来源：光电子技术, 2022, 42(03): 202-206.

DOI：10.19453/j.cnki.1005-488x.2022.03.008

• 电荷耦合器件
• 像元结构
• 雪崩倍增
• 光电探测器件

在CCD像元内集成了由重掺杂PN结组成的APD结构，使CCD的像元具备了雪崩倍增功能。CCD实现像元级倍增，可使探测信号从探测器的探测端被增大，可提高探测器的探测灵敏度。进行了像元结构仿真、工艺仿真、像元倍增结构设计等工作，设计了512(V)×512(H)阵列规模的像元级倍增CCD，开展了工艺流片、工艺优化、封装测试等工作，验证了CCD的像元倍增功能。

• 单位
  天津大学