按照外场驱动微电机的驱动机制进行分类,简要介绍了各类微电机的制造工艺及应用前景,综述了各类微电机的研究与应用现状。指出了当前外场驱动微电机领域的研究热点,分析了微电机在实际应用中存在的困难。展望了外场驱动微电机未来的发展趋势及应用前景。
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