多晶硅生产废水含有多晶硅切割液中的聚乙二醇、较多悬浮物和胶体物质,具有COD浓度高、可生化性差的特点,采用混凝沉淀/EGSB/ABR/接触氧化工艺处理,结果表明,多级厌氧好氧组合工艺生化降解效果好,出水水质达到《污水综合排放标准》(GB 8978—1996)的三级标准,系统运行稳定、可靠。