石墨烯晶体管转移特性对栅压的依赖现象研究

作者:张庆伟; 李平; 王刚; 曾荣周; 王恒; 周金浩
来源:微电子学与计算机, 2017, 34(06): 36-39.
DOI:10.19304/j.cnki.issn1000-7180.2017.06.008

摘要

为了研究石墨烯场效应晶体管的不同测试方法,对其转移特性的影响,在栅压为05V之间扫描的情况下,研究了石墨烯晶体管的狄拉克点变化规律.其变化呈现以下特点:连续地正向扫描或反向扫描时,随着次数的增加,狄拉克点电压逐渐变大;先加栅压保持一段时间后,再测转移特性,0V保持时,狄拉克点电压不变,5V保持时,狄拉克点电压变大;测试之间相互独立时,正向扫描的狄拉克点电压小于反向扫描的狄拉克点电压;双向连续扫描时,第一次测试影响第二次的结果.以上现象表明了狄拉克点电压的大小和已扫描过的栅压大小有关.我们把上述的特点归因于电子注入到氧化铪表面的陷阱中.这些现象的发现和解释对石墨烯器件的可靠性,石墨烯导电特性的控制,石墨烯电路的实现有明显的参考意义.

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