450mm(18英寸)晶圆计划踩煞车ASML:现阶段已无必要性

来源：电子工业专用设备, 2015, 44(02): 44-45.

DOI：10.3969/j.issn.1004-4507.2015.02.010

• 英寸
• 晶圆
• 半导体
• 投资入股
• 三星电子
• 联合投资
• 大厂
• 紫外光
• 英特尔
• 产业链
• 资金
• 专案
• 圆机
• 设备
• 客户

<正>荷商微影设备大厂ASML在2012年提出的"客户联合投资专案"(Customer Co-Investment Program),广邀台积电、英特尔(Intel)和三星电子(Samsung Electronics)三家半导体大厂投资入股研发450 mm晶圆机台和极紫外光(EUV)机台,不过,现在整个半导体产业链对于450 mm晶圆世