韩国三星电子与台积电再掀晶圆代工工艺之争

来源：家电科技, 2020, (03): 22-23.

<正>据韩国《亚洲经济新闻》报道,中国台湾晶圆代工厂商台积电继三星电子后也宣布6nm半导体制程量产,两家晶圆代工厂商再次打响工艺之争。三星电子上月宣布其位于华城的多层极紫外光刻(EUV)半导体生产线V1已开始批量生产。V1生产线目前正采用7nm和6nm工艺技术。