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摘要
电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)等离子体源能产生高电荷态离子、高流强的单电荷态离子，提供稳定的束流和良好的重复性.核心部件的设计对ECR等离子体源是至关重要的，磁场对等离子体的生成和分布有直接影响，良好的磁场可以提高等离子体的性能和效率.采用有限元分析方法对ECR等离子体源磁场进行分析与设计，得到了满足设计需求与目标的磁场位形，通过高斯计对设计的永磁环轴向磁场精确测量，发现磁场仿真结果与实验结果吻合比较好，只是轴向磁场最大值及对应位置上有点偏差.通过集成实验，研究核心部件对离子源引出束流强度的影响，引出束流稳定且强度达到7 m A.
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