基于纳米压印技术制作的线偏振蓝光LED

作者：李万永; 韩彦军; 罗毅

来源：光电子-激光, 2013, (06): 1042-1047.

• 线偏振LED
• Al金属光栅
• 偏振度(PR)
• 偏振消光比(PER)
• 纳米压印 linearly polarized LED
• Al metal grating
• polarization ratio(PR)
• polarization extinction ratio(PER)
• nanoimprint lithography

提出一种准确计算LED偏振度(PR)的方法,并采用纳米压印技术制作了线偏振蓝光LED。方法考虑了LED朗伯型发光,计算整个半平面入射光透过光栅的TM模在TE和TM模中所占百分比。详细分析了光栅材料、光栅周期、占空比和光栅高度等对PR的影响,结果表明,当Al金属光栅周期为150nm、占空比为0.5和光栅高为120nm时,PR几乎为1;利用纳米压印技术结合感应耦合等离子刻蚀技术,制作了铝金属光栅。实际测试结果表明,将蓝光LED的偏振消光比(PER)由1.0∶1.0大幅度提高为2.2∶1.0。

• 单位
  清华大学深圳研究生院