冷热复合处理对CrN涂层结构及力学性能的影响

作者：朱睿; 王谦之^*

来源：材料保护, 2023, 56(09): 48-53.

DOI：10.16577/j.issn.1001-1560.2023.0211

• CrN涂层
• 增强阴极弧磁控溅射
• 热处理
• 冷处理
• 冷热复合处理
• 力学性能

为了改善CrN涂层的塑性变形能力，通过增强阴极弧磁控溅射技术在316L不锈钢上制备了CrN涂层。利用管式炉和液氮对CrN涂层分别进行冷处理、热处理以及冷热复合处理。通过X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)以及纳米压痕仪表征涂层在后处理前后的微观结构、形貌特征、残余应力及力学性能。结果表明：经过后处理的CrN涂层硬度均有小幅度降低，但其塑性变形能力均提高。其中，先热后冷复合处理几乎保持CrN涂层硬度不变(仅降低0.7%),同时提高了其塑性变形能力(提高3.1%),增强了其韧性。

• 单位
  南京航空航天大学