AISI 316L表面氮化复合类金刚石涂层的相结构及摩擦学性能

作者：黄振; 郭媛媛; 滕越; 杨利; 杨永杰; 吴法宇

来源：中国表面工程, 2019, 32(05): 111-118.

• DLC涂层
• 扩展奥氏体
• 相结构
• 摩擦学性能
• 膜基结合强度

为提高类金刚石涂层与奥氏体不锈钢之间的结合强度,利用等离子体增强化学气相沉积技术分别在未处理和氮化处理的AISI 316L表面沉积类金刚石(DLC)涂层,研究不同沉积温度下DLC及氮化复合DLC涂层的相结构与摩擦学性能。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)表征涂层的相结构;采用扫描电子显微镜(SEM)观察截面形貌,并用EDS测量氮、碳元素的深度分布;采用纳米压痕仪、摩擦磨损试验机、超景深显微镜、划痕仪检测DLC涂层的摩擦学性能。结果表明:氮化复合DLC涂层的结合力和耐磨性优于DLC涂层;其中100℃时,硬度和结合力分别提高25%和175%,综合性能最好。沉积DLC涂层的过程中,氮化层中氮原子因扩散而重新分布,使氮化层的厚度增加,硬度梯度减缓,更有利于基体与DLC涂层间的过渡。

• 单位
  辽宁科技大学