散射型近场扫描光学显微镜的探针振动参数优化研究

作者：彭涛; 朱亦鸣; 游冠军^*

来源：光学仪器, 2019, 41(02): 60-65.

• 散射型近场扫描光学显微镜
• 原子力显微镜
• 振动振幅
• 反馈幅值

基于原子力显微镜平台设计了可见-近红外波段的散射型近场扫描光学显微镜,通过理论模型计算和实验测量,分析了散射探针振动的调制振幅和扫描反馈幅值对近场信号的影响。研究表明:与探针针尖尺寸相近的调制振幅有利于抑制背景散射噪声及优化近场信号的信噪比;当探针扫描反馈幅值与自由空间调制振幅之比大于90%时,可基本消除探针扫描过程中非简谐振动对近场成像测量的影响。

• 单位
  上海理工大学