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摘要
提出了一种并联体声波谐振器(BAWR)与Ga2O3基MSM紫外传感器的新型高灵敏度传感器结构，即体声波谐振式日盲紫外光传感器(BAWR-UV Sensor)。设计并制备了MSM Ga2O3紫外传感器和BAWR传感器，将实测的光、暗S参数在仿真软件中封装为S1P数据模型代替MSM等效电路，用MBVD模型代替BAWR等效电路，通过并联两种结构建立了BAWR-UV仿真模型；采用ADS软件仿真了BAWR核心参数对BAWR-UV传感器灵敏度的影响，研究了提高灵敏度的设计方案。仿真结果表明，在0.5～4.5 GHz频率范围内，BAWR-UV的并联Q值越大，阻抗灵敏度越高，同时阻抗灵敏度随频率降低而增大，在并联谐振频率fp=0.533 GHz时获得最佳阻抗灵敏度为100 kΩ/(μW/mm2);频率灵敏度随频率的升高而增大，在fp=4.5 GHz时获得最佳频率灵敏度为1.4 MHz/(μW/mm2)。最后，开展了高灵敏度日盲紫外传感器的探索。
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