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摘要
为了实现低成本的微纳米级微位移调整，文章基于柔性铰链直线位移与寄生位移的关系，设计了一种由测微头驱动的单自由度微位移调整平台。介绍了该微调平台的结构组成及工作原理，建立了微调平台缩小倍数即输入-输出关系的理论模型。通过关键尺寸赋值，得到一种结构紧凑的缩小倍数为47的手动微调平台，通过测微头输入步长为10μm的位移，最小输出位移为213 nm，输入范围为0～600μm，输出范围为0～13μm。采用Ansys Workbench仿真软件对微调平台的刚度、应力及输入-输出关系进行有限元验证，验证了该设计方案的可行性。
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单位天津职业技术师范大学; 电子工程学院
