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摘要
压电驱动器利用逆压电效应作为微泵的核心驱动装置,其结构设计及参数优化决定微泵的性能优劣。提出双压电圆膜复合振子作为驱动器,基于ANSYS软件对其振动位移、谐振频率、振动模态及其谐响应进行了计算机仿真研究,并对其材料选择、结构设计及其参数等进行了一系列的优化。仿真结果表明了压电片和弹性基片的结构参数对驱动器最大位移和固有频率的影响关系,为微压电泵的设计、制作及实验研究提供理论依据。
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单位中航工业成都飞机工业（集团）有限责任公司; 华南理工大学
