用于植保无人机的MEMS热式风速传感器的研制与应用

作者：李以贵; 金敏慧; 王佩英; 邱霁玄; 张成功^*

来源：微纳电子技术, 2021, 58(07): 621-626.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2021.07.009

• 柔性风速传感器
• 微电子机械系统(MEMS)
• 植保无人机(UAV)
• 热敏电阻
• 环境风速

针对传统农用植保无人机(UAV)在喷洒作业过程中受环境风速影响造成的农药飘移及喷洒效率低等问题,研制了一种可应用于植保UAV的大量程柔性微电子机械系统(MEMS)热式风速传感器。该传感器选用聚酰亚胺(PI)作为柔性衬底材料,金属铂(Pt)作为热敏电阻材料,利用磁控溅射技术、电镀和光刻工艺等MEMS制备工艺完成了带空腔的新型风速传感器的制备,其具有体积小、灵敏度高和可贴合于曲面等优点。对传感器热敏电阻进行标定并采用恒温差电路工作方式,通过实验测试,传感器的风速测量范围为0～30 m/s,灵敏度可达6.20 mV/ms-1,满足植保UAV飞行过程中对环境风速的测量要求。

• 单位
  上海应用技术大学