伺服运动控制工作台精度误差分析

作者：谭立杰; 闫芸; 宋婉贞

来源：电子工业专用设备, 2022, 51(01): 53-56.

• 伺服控制
• XY工作台
• 定位精度误差
• 重复精度误差

以XY轴十字叠加伺服运动控制工作台为例，通过观测误差现象，从电气控制系统方面分析位置式数字PID控制器的精度误差产生原因，并提出减小误差的方法和验证方法。从工作台机械系统方面，分析精度误差产生原因，提出设计和选型标准。通过几方面的技术改进提高伺服运动控制工作台的定位精度、重复精度。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所