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摘要
利用直流磁控溅射技术在烧结NdFeB磁体的单极面镀不同厚度Tb膜，并进行热扩散及退火处理，研究了不同厚度Tb膜及热处理工艺对磁体的影响。结果表明，3.137μm膜厚对磁体内禀矫顽力提升最明显，并在850℃×7 h+500℃×2 h热处理条件下，获得的磁性能最佳，其内禀矫顽力从872.36 kA/m提升到1305.67 kA/m;20～160℃的剩磁温度系数α从-0.1226%/℃减小至-0.1230%/℃，略有降低，但矫顽力温度系数β从-0.5534%/℃明显增大至-0.5297%/℃。利用SEM观测Tb扩散磁体的近表面及深处的微观结构，可以发现明显的(Nd,Tb)2Fe14B核壳结构及分布较均匀的富Nd相，这是磁体磁性能提升的主要原因。
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