基于压电势增强摩擦电效应的无源压力传感器及制备方法

作者：刘金妹; 顾陇; 杨茂森; 崔暖洋; 王雨昕; 李晨; 李子昕; 徐炅尧

来源：2022-09-19, 中国, CN202211138227.3.

本发明公开了一种基于压电势增强摩擦电效应的无源压力传感器,包括：电极层、柔性高分子材料层、ZnO褶皱层、ZnO纳米线层以及负极性摩擦层；其中,制成所述ZnO褶皱层时所沉积的ZnO厚度为10nm～1μm,制成所述柔性高分子材料层的柔性高分子材料和ZnO的热膨胀系数不匹配,所述ZnO纳米线层中的ZnO顶部晶面为(0001)晶面。本发明提供的压力传感器具有更高的灵敏度。

• 单位
  西安电子科技大学