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摘要
传统的相移阴影莫尔轮廓术往往采用在垂直于光栅面方向移动光栅的方法进行相移，由于相移是非线性的，往往需要较多帧的条纹图进行相位解调。为了减少条纹图帧数，节约测量时间，并简化测量过程，本文提出一种基于主量分析法的 3 帧随机相移阴影莫尔技术。但是由于主量分析法是通过时域平均的方法去除背景，因此对较少帧的条纹图直接使用主量分析法会产生直流分量去除误差。对此文中首先将条纹图正则化，然后再应用主量分析法求取相位的方法。实验表明，相对于直接使用主量分析法，利用正则化主量分析法可以大大减少测量误差。分别使用本文所提出的方法和五步相移法对同一物体表面进行测量，两次测量结果之差在 ?5um 内。这说明正则化主量分析法的有效性。
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