为了实现对超微小压力的测量,设计了一种具有抗过载能力和高灵敏度的二岛梁膜结构,并对此结构进行了有限元分析。结果表明,在中心和边缘的沟槽中存在的极端应力。电阻设置在凹槽上,构成一个全桥,使电路的电压输出达到最大值。灵敏度可以达到最大值。
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