聚合物双环谐振滤波器的研究

作者：孔光明; 鄂书林; 邓文渊; 郭洪波; 张大明; 陈长鸣

来源：中国激光, 2009, (01): 134-138.

• 集成光学
• 微环谐振滤波器
• 紫外光刻
• SU-8 Integrated optics
• micro-ring resonant filter
• UV photolithography
• SU-8

设计了一种基于多模干涉(MMI)耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器,并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层,聚合物CYTOP为下包层,在硅基底上完成了器件的制备。器件的波导端面尺寸为2μm×1μm,与设计值相符,扫描电镜显示所制备的器件波导侧壁陡直度较高。直波导传输损耗的测试结果表明,在1550 nm波长,直波导传输损耗约为2.0 dB/cm。测试并获得了多模干涉结构和器件的通光及输出光谱图。测试结果表明,MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50∶50的功分比,微环谐振滤波器的通光性能良好,实现了滤波功能,器件的自由光谱区FSR实际值约为0.94 nm,与设计参数值很接近。研...

• 单位
  中国科学院研究生院; 吉林大学; 应用光学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所