碳化硅涂层在单晶硅用炭/炭热场材料中的应用及研究进展

作者：程皓; 白鸽; 赵杉; 康媛媛; 康文杰; 苏君明; 张永辉

来源：炭素技术, 2020, 39(03): 6-24.

DOI：10.14078/j.cnki.1001-3741.2020.03.002

• 炭/炭热场材料
• 碳化硅涂层
• 直拉法

碳化硅涂层是目前解决单晶硅生产用炭/炭热场材料高温侵蚀的有效手段之一,本文介绍了碳化硅涂层的制备技术及优缺点,综述了碳化硅涂层在炭/炭热场材料领域的应用及研究进展,对炭/炭热场材料高温抗侵蚀涂层的发展提出了建议和方向。

• 单位
  西安航天复合材料研究所; 西安超码科技有限公司