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摘要
本发明涉及微机电技术领域,具体涉及用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜及制备方法。MEMS扫描镜包括透明的玻璃盖帽、旋转扫描镜本体和硅基底；旋转扫描镜本体包括包括方形的微镜、第一S型扭转梁、第二S型扭转梁、长方形的内层框架和长方形的外层框架；外层框架同轴套设在内层框架外,且内层框架的两端分别通过第一S型扭转梁连接着外层框架；微镜两端均依次通过直连接梁、第二S型扭转梁对应连接着内层框架,使得微镜活动安装在内层框架的中部；通过向梳齿电极层、上电极和下电极施加驱动电压,使得所述微镜可在活动腔内旋动。本发明的制备方法采用体硅加工工艺和基于SOI硅-玻璃键合技术完成对MEMS扫描镜的制造与封装加工效率高、重复性较好。
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