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摘要
类金刚石（DLC）薄膜是一种具有高耐磨性和高化学稳定性的薄膜材料，应用也越来越广泛。随着关键材料部件的服役环境越来越苛刻，关键部件的防护和可靠性面临新的挑战，近年来DLC的抗腐蚀性能越来越被重视。本文聚焦DLC的腐蚀和耐磨机理，归纳了DLC薄膜对合金表面腐蚀防护的研究热点，介绍了应用在材料表面的DLC不同制备方法，简述了单层DLC、多层DLC和掺杂型DLC的结构和防护机理。多层DLC具有很大的研究价值和广泛的应用前景。最后，对当前DLC薄膜对基材表面防护的发展趋势和挑战进行了展望。
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单位东北大学; 自动化学院
