立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究

作者：王永清; 杨永旺; 万真真; 申玉民; 刘庆学

来源：冶金分析, 2019, 39(01): 8-14.

DOI：10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.010507

• 微型光谱仪
• 激发源
• 电感耦合等离子体
• 立体螺旋线圈
• 工作参数

介绍了一种电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)光谱激发源,该激发源采用微结构立体螺旋线圈。实验以氩气作为实验气体,采用以立体螺旋线圈作为微电路组件主体的微型ICP激发源研究了立体螺旋线圈激发氩气的最佳结构参数:匝数为4.5匝,线圈直径为5mm,铜线直径为1mm;测得了激发源在激发氩气时的工作条件:最佳射频功率为15～20W,最佳工作气压为50～100Pa,并分析了射频功率和工作气压对于氩气谱线强度的影响。采用射频功率为15W、氩气工作气压为60Pa对空气样品进行激发,检测到氮离子、氦离子等,由此表明立体螺旋线圈微型ICP激发源对空气样品具有激发能力,并且立体螺旋线圈微型ICP激发源比平面微型ICP激发源的激发能力更强。

• 单位
  电子信息工程学院; 河北大学; 国土资源部