基于红外测温法的MOCVD工艺温度分析

作者：关国坚; 甘志银

来源：计量与测试技术, 2012, 39(04): 18-19+21.

• 红外测温法
• 温度场分布

为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOCVD的加热炉结构改进和工艺过程控制有很大的指导意义。

• 单位
  华中科技大学; 广东昭信半导体装备制造有限公司