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摘要
目的 研究电容式湿度传感器在温-湿-盐雾耦合环境作用下的性能退化规律和失效机理。方法 将电容式湿度传感器放置在三因素循环（85℃+85%RH→40℃+0.05%Na Cl中性盐雾→35℃+50%RH干燥）环境下进行加速老化试验，定期取样，分析响应时间和测量精度退化规律，研究温-湿-盐雾对电容式湿度传感器的环境损伤机制。结果 在三因素环境下老化7 d，湿度传感器在标准湿度（>50%RH）环境下感应异常；老化14 d，湿度传感器在每种标准湿度环境下感应异常。测试发现，湿敏电容的电容量偏大，绝缘电阻偏小，损耗角正切偏大，确定湿敏电容失效。湿度传感器在温-湿-盐雾环境下，在盐雾阶段，盐粒子沉积在湿敏材料表面，在干燥阶段水分挥发，最终在湿敏材料表面形成不规整颗粒物，造成湿敏电容绝缘性能降低。在通电测试时，不规整颗粒物在电场作用下易发生尖端发电，使得感湿材料绝缘性能下降，同时伴随有腐蚀和击穿烧蚀，使湿敏电容发生失效。结论 湿度传感器在温-湿-盐雾环境下，盐粒子易附着在感湿材料上，在通电环境下发生击穿烧蚀，造成湿度传感器功能失效。
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单位西南技术工程研究所
