轮廓仪法测量大镜面及纳精度表面轮廓仪研发

作者：李剑白; 钱石南; 李小芸; Mourad Idir

来源：江西科学, 2023, 41(04): 736-739.

DOI：10.13990/j.issn1001-3679.2023.04.021

• 表面轮廓仪
• 大尺寸反射镜测试
• 纳精度
• 第3代表面轮廓仪

指出了表面轮廓仪法检测大尺寸光学反射镜的重要意义，论述高精度表面轮廓仪系列分类。新的第3代表面轮廓仪NSP研发解决了较深弯曲反射镜的超高精度测试难题。当ELCOMAT 3000/10自准直仪在50 mm固定距离精密较正后，NSP即可能达到50 nrad rms检测精度。

• 单位
  江西省科学院