飞秒激光在6H SiC晶体表面制备纳米微结构

作者：吴晓君; 贾天卿; 赵福利; 黄敏; 陈洪新; 许宁生; 徐至展

来源：光学学报, 2007, (01): 105-110.

DOI：10.3321/j.issn:0253-2239.2007.01.021

• 光学材料
• 飞秒激光
• SiC晶体
• 纳米阵列
• 周期结构 optical materials
• femtosecond laser
• SiC crystal
• arrays of nanoparticles
• periodic structures

激光诱导周期性纳米微结构在多种材料包括电介质、半导体、金属和聚合物中观察到。研究了800nm和400nm飞秒激光垂直聚焦于6H SiC晶体表面制备纳米微结构。实验观察到800nm和400nm线偏光照射样品表面分别得到周期为150nm和80nm的干涉条纹,800nm圆偏振激光单独照射样品表面得到粒径约100nm的纳米颗粒。偏振相互垂直的800nm和400nm激光同时照射晶体得到粒径约100nm的纳米颗粒阵列,该纳米阵列的方向随400nm激光强度增加而向400nm偏振方向偏转。利用二次谐波的观点对以上纳米结构的形成给出了解释。

• 单位
  中国科学院上海光学精密机械研究所; 光电材料与技术国家重点实验室; 中山大学; 强场激光物理国家重点实验室