回收SiC对游离磨料多线切割中几何参数的影响

作者：王绍鹏; 康洪亮

来源：电子工业专用设备, 2019, 48(05): 43-47.

• 多线切割
• 回收碳化硅
• 几何参数
• 成本

单晶硅多线切割过程中,目前已有较多文献对用过砂浆的回收方法进行了研究报道,但关于回收砂浆对硅片几何参数的研究较少。以理论分析为指导,通过实验研究使用回收砂浆对多线切割100 mm(4英寸)和150 mm(6英寸)硅片表面几何参数(总厚度变化、翘曲度)的影响,验证了回收碳化硅粉可以按一定条件配制切削砂浆,并进行了成本核算,验证适当使用回收碳化硅可满足生产要求,大幅降低成本。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十六研究所