退火对TU2铜管显微组织的影响

作者：沈莉香

来源：热处理, 2022, 37(03): 9-12.

• TU2铜管
• 退火
• 织构

微电子行业用TU2铜管是弯曲成形的，为改善其成形性能，需进行退火处理。对拉拔成形的TU2铜管进行了260～460℃保温10～120 min的退火处理。此后，采用电子背散射衍射技术研究了TU2铜管的织构演变。结果表明：在260～340℃退火60 min后,随着退火温度的提高，TU2铜管中的<001>、<111>织构数量减少，<112>织构强度增大；在300℃退火10～60 min的铜管中<111>和<001>织构数量减少，<112>织构数量增多，但退火时间超过60 min,铜管组织无明显变化。