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摘要
本发明公开了一种抗高过载绝对式谐振微压传感器,包括上端盖、中间壳体、下端盖、气体通道、微压传感器芯片、密封管壳以及用于控制外界气体通断的双波纹膜片、开关导向杆、平衡弹簧等组成的压力开关。当传感器所处环境压力高于芯片测量的安全阈值时,压力开关闭合,气体不会作用于微压传感器芯片,以此实现高过载保护；当进气口压力低于芯片测量的安全阈值时,压力开关打开,外界气体通过气体通道作用于芯片的背腔,引起敏感膜片产生形变,进而引起固支在敏感膜片上方的谐振梁固有频率变化,通过测量该谐振频率即可实现微压测量。本发明较好地解决了传统MEMS谐振压力传感器难以用于绝对微压测量的技术瓶颈,具有测量灵敏度高、分辨率高等优点。
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