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摘要
本发明公开了一种复合渐变层氮化镓功率晶体管及其制作方法,主要解决现有的功率开关器件双向导通特性差,导致其所用系统的成本高,功率效率低的问题。其自下而上包括：漏极、衬底层、漂移层、沟道层、N～+型层和源极,该沟道层的两侧的漂移层内设有第一渐变层,其间距小于沟道层宽度,且其上部设有栅极,漂移层上部中央设有调制岛极,调制岛极下方的漂移层内设有等间隔的n块第二渐变层,该第一渐变层由第一渐变P型层和第一渐变N型层组成,第二渐变层由第二渐变P型层和第二渐变N型层组成。本发明降低了反向导通开启压降、增大了导通电流,其阻断时泄漏电小耐压高,具有良好的双向导通特性,可作为功率开关器件。
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