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摘要
采用磁控溅射的方法在硬质合金加工刀具表面制备了AlCrN、TiAlSiN和TiAlCrN涂层，对比分析了3种涂层的表面形貌、涂层厚度、表面粗糙度、硬度、与基体结合力和耐磨性能。结果表明，硬质合金加工刀具的3种涂层表面都可见尺寸不等的显微凹坑与白色颗粒存在，TiAlSiN涂层的厚度相对较小、粗糙度相对较大；3种涂层的显微硬度都明显高于基体，且显微硬度从高至低顺序为：AlCrN>TiAlCrN>TiAlSiN;AlCrN、TiAlSiN和TiAlCrN涂层与基体的结合力分别为44、39和48N。3种涂层试样的摩擦因数都小于基体试样，且相同载荷下的磨损率都明显小于基体试样，磨损率从小至大为AlCrN<TiAlCrN<TiAlSiN；室温摩擦磨损条件下，3种涂层抵抗摩擦磨损的能力都高于基体材料，且AlCrN涂层具有最佳的耐磨性能，其磨损机理为氧化磨损和磨粒磨损。
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单位郑州机械研究所; 河南工业和信息化职业学院
