激光干涉仪在机床精度检测中的应用

作者：刘丽

来源：装备维修技术, 2019, (02): 78.

DOI：10.16648/j.cnki.1005-2917.2019.02.050

• 激光干涉仪
• 机床
• 精度检测

激光干涉仪主要是依靠激光波长作为长度计量单位的高精度测量设备,双频激光干涉仪的应用,借助于自身性能稳定、检测精确度高以及数据信息可靠等优势,逐渐成为高精密机械检测中的重要仪器,在机床精度检测过程中得到了非常普遍的应用。本文主要分析了激光干涉仪的基本原理,探讨了其在机床精度检测中的测量误差及控制策略,以期进一步促进其检测结果精准度的提升。