硅片清洗及最新发展

作者：陈志磊

来源：科技与企业, 2013, 5(12): 362.

DOI：10.13751/j.cnki.kjyqy.2013.12.118

• 太阳能硅片
• 硅片清洗
• 硅片表面污染

在分析硅片表面污染类型的基础上,对目前太阳能硅片几种清洗方法的工作原理加以介绍,并指出其发展趋势。

• 单位
  华北电力大学（保定）