混合物理化学气相沉积法制备Mg衬底MgB_2薄膜

作者：姚丹; 庄承钢; 张开成; 余增强; 冯庆荣; 王福仁

来源：北京大学学报(自然科学版), 2006, (03): 357-360.

DOI：10.13209/j.0479-8023.2006.067

• MgB_2薄膜
• M-T曲线
• X射线衍射图
• SEM图
• EDX成分分析 MgB_2 thin films
• M-T curve
• X-ray diffraction patterns
• SEM image
• EDX

用混合物理化学气相沉积(Hybridphysical-chemicalvapordeposition简称为HPCVD)法在Mg衬底上原位制备出MgB2超导薄膜样品。超导起始转变温度Tc(onset)=39.5K,SEM(ScanningElectronMicroscopy)图显示晶型结构为六方形,晶粒生长较为致密。样品的X射线衍射分析表明,MgB2薄膜是多晶的,没有择优方向。晶粒大小约为400nm~1μm。结果表明HPCVD技术在Mg表面直接沉积MgB2薄膜是可行的,对Mg原料的节约和MgB2线材的制备具有一定优势。

• 单位
  物理学院; 北京大学; 人工微结构和介观物理国家重点实验室