洁净室微粒计数浓度检测结果不确定度评定

作者：黄婷婷

来源：计量与测试技术, 2021, 48(09): 120-122.

DOI：10.15988/j.cnki.1004-6941.2021.9.035

• 洁净室
• 微粒
• 不确定度

目前洁净室被广泛应用于医疗、电子及食品行业等,本文依据GB 50591-2010《洁净室施工及验收规范》,对洁净室检测中的微粒计数浓度测得值进行不确定度评定。通过建立测量模型,进行不确定度来源分析,得出测得值的相对扩展不确定度。