摘要

采用溶胶凝胶法制备了摩尔分数为10%的钆离子掺杂二氧化铈的Gd0.1Ce0.9O2-δ(GDC10)纳米粉体,并通过一系列测试表征了粉体的物相、形貌结构、晶粒尺寸及比表面积,利用高压喷涂法在金叉指电极上制备出电容式湿敏传感器,研究了传感器在频率为100 Hz环境下的湿敏特性。结果表明,GDC10具备良好的湿敏性能,它的介电常数随湿度增加而快速增加,湿度传感器的介电常数增长率达到6.72,是纯CeO2的25倍,最大滞后误差约为4.9%,响应恢复时间低于1 min,并且具有极好的重复性。最后,分析了GDC10的高增敏湿敏机制。