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摘要
随着半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造投资额的大幅度增长，为满足生产需求，电子厂房需求也随之增加，而大部分电子厂房设计要求配备工艺循环冷却水系统。文章对工艺循环冷却水系统进行分析，并以某电子厂房工艺循环冷却水设计为例进行思路梳理，通过对工艺循环冷却水的工作原理、系统组成、系统特点及系统模式选择等内容的介绍与项目经验的总结，以期为工艺循环冷却水系统设计提供参考。
- 单位
随着半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造投资额的大幅度增长，为满足生产需求，电子厂房需求也随之增加，而大部分电子厂房设计要求配备工艺循环冷却水系统。文章对工艺循环冷却水系统进行分析，并以某电子厂房工艺循环冷却水设计为例进行思路梳理，通过对工艺循环冷却水的工作原理、系统组成、系统特点及系统模式选择等内容的介绍与项目经验的总结，以期为工艺循环冷却水系统设计提供参考。
